ダイヤモンド単結晶基板合成技術開発を支援する数値シミュレーション

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-05

著者

• 山田 英明

  (独)産業技術総合研究所

関連論文

• ダイヤモンド単結晶基板合成技術開発を支援する数値シミュレーション
• 1P1-8 大型ダイヤモンドウェハの開発(ポスターセッション)

スポンサーリンク