6.スパッタリング法を用いた超微粒子生成法の開発と生成粒子の観察(名古屋大学工学部応用物理学教室,修士論文アブストラクト(1984年度))

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概要

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• この論文は国立情報学研究所の電子図書館事業により電子化されました。

• 物性研究刊行会の論文
• 1985-07-20

著者

• 鎌倉 孝信

  名古屋大学工学部応用物理学教室

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