塗布型ボトム・コンタクト有機TFTの接触抵抗(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
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概要
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有機半導体(Tetrabenzoporphyrin)をチャネル層とする有機薄膜トランジスタ(OTFT)を、その前駆体を用い塗布法によって作製し、そのソース/ドレインの接触抵抗およびその移動度をゲート四探針法によって詳細に測定した。用いた構造はプラスティック基板上に作製が容易でTFTサイズを容易に縮小できるボトム・コンタクト構造である。また、ソース/ドレイン電極材料はAuとITOの2種類の金属を用いて作製され、各TFTはドライエッチングによりアイランド化された。接触抵抗においてゲート電圧依存性、AuとITOの金属材料依存性が示され、また、接触抵抗の影響を除いた真の移動度のアイランド化プロセスの影響が示された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-04-10
著者
-
服部 励治
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
李 相根
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
服部 励治
九州大学大学院システム情報科学府
-
服部 励治
九州大学産学連携センタープロジェクト部門
-
大野 玲
株式会社三菱化学科学技術研究センター
-
荒牧 晋司
三菱化学科学研究センター
-
酒井 良正
三菱化学科学研究センター
-
田添 将靖
九州大学システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
田添 将靖
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
杉本 慎太郎
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
Yip Gordon
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
酒井 良正
(株)三菱化学科学技術研究センター
-
大野 玲
(株)三菱化学科学技術研究センター
-
荒牧 晋司
(株)三菱化学科学技術研究センター
-
荒牧 晋司
三菱化学株式会社科学技術研究センター
-
李 相根
九州大学大学院システム情報科学府
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