F-3 Si 基板上に成膜した PZT 系強誘電体キャパシタの電気特性に及ぼす (Ti, Al)N を含む電極構造の影響(F. 環境にやさしい有機材料設計のための劣化の制御に関する研究)

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概要

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• 神奈川大学の論文

著者

• 小川 和則

  情報科学科

• 土井 英和

  情報科学科

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