FDTD法を用いた光ディスク表面形状の解析(移動通信ワークショップ)
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概要
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光ディスクの形状検査として,ディスクに光を入射し,その透過光強度から形状を確認する方法がある.この方法は幾何光学理論を用いており,光波長に対して十分大きい回折格子を対象にしている.しかし,Blu-Ray DiscやHD DVDに代表される次世代DVDにおいて格子サイズは波長オーダーまで微細化している.格子サイズが波長オーダーの場合,光の電磁波としての性質を考慮する必要がある.そこで,電磁波の解析手法である有限差分時間領域法(FDTD法)を用いて解析した.その際,光ディスク表面形状を無限周期回折格子として解析した結果,透過光強度特性は幾何光学理論と異なることが判明した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-02-22