ねじり振動を用いたRF-MEMSフィルタの開発(移動通信ワークショップ)

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概要

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携帯無線端末の更なる小型化には、無線部フロントエンドの小型化、特に高周波フィルタの集積化が必須である。そこで我々は半導体プロセスと親和性が高いシリコンプロセスを用いたRF-MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)フィルタを提案する。今回、MEMSフィルタの課題の1つである小型化と高Q化の両立に向け、ねじり振動モードを利用した共振器の設計、試作、評価を行った。提案構造の共振特性を評価した結果、たわみ振動モードの2倍となるQ値14600が得られ、本構造が小型化、高Q化に有効であることを実証した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2006-02-24

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