MOD法による遷移金属添加CuAlO_2の作製と評価
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概要
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Delafossite-type copper-aluminum oxide (CuAlO_2) thin films on quarts substrate have been prepared by the metal-organic decomposition (MOD) technique in flowing nitrogen atmosphere. Doping with transition metal in CuAlO_2 thin films by MOD was carried out. The calcinated thin films were investigated by X-ray diffraction (XRD) measurements. The films were polycrystalline with a (001) preferential orientation. It is found from energy dispersive X-ray analysis (EDX) that the cation-composition ratio, Cu : (Al+Mn) was 1 : 1 and that the Mn concentration increased in proportion with the content of the metal-organics in the solution. Undoped films were colorless transparent, while Mn-doped ones show transparent brown in color.
- 神戸市立工業高等専門学校の論文
- 2005-03-01
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