気相成長シリコン結晶層中のDislocation(半導体(拡散,エピタキシー)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1963-10-13

著者

• 松倉 保夫

  日本電気株式会社

• 三浦 義男

  日電 半導体

• 三浦 義男

  日本電気株式会社

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