SiGe中のBoronの拡散(半導体(拡散,エピタキシー)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1963-10-13

著者

• 小田 丞司

  日本電気株式会社

• 白石 正道

  日本電気株式会社

• 小田 丞司

  九大理

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