19aYN-9 ハイブリッドDFT-MDシミュレーションによる応力下Si結晶中の酸素拡散バリアの評価(格子欠陥・ナノ構造(シミュレーション・電子状態),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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