301 レーザープローブを用いた外周マイクロ形状測定装置の開発([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)

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概要

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• We have developed a new system to perform the outline measurement of micro parts. The system consists of a laser prove 3D measuring equipment and a rotation table and astitching software. It can measures the diameter and the outline of small parts of it diameter is less than lmm and a high NA aspherical lens of it has an angle over 60 degrees.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2004-11-19

著者

• 古田島 秀夫

  三鷹光器(株)第一製造部

• 三浦 勝弘

  三鷹光器(株)第一製造部

• 松葉 正

  三鷹光器(株)

• 三浦 勝弘

  三鷹光器(株)第一製造課

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