AFMを用いたSiO_2膜の摩擦摩耗特性 : アルカリ溶液中と純水中における摩耗メカニズムの相違(OS8-1 マイクロ機構とトライボロジー(I))

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概要

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• Micro or nano-meter order silica process is an important technology for several industrial processes such as for semiconductor and for MEMS. The object of this investigation is to clarify the chemistry of silica process. Using Atomic Force Microscope (AFM), micro-tribological experiments were performed in alkaline solution and in pure water. The significant difference of wear mechanism between the two solutions has been obtained by comparison with their friction and wear characteristics.

• 2004-04-16

著者

• 服部 仁志

  (株)東芝 研究開発センター

• 瀬田 聡子

  東芝研究開発センター

• 服部 仁志

  東芝研究開発センター

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