歩留まり管理技術および不良解析技術
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概要
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世代ごとに高額化する半導体の設備投資を回収するためには一刻も早く新製品を市場に投入するとともにできるだけ早期に歩留まりを上げる必要がある。このためには不良を作り込まない、不良が発見されたら一刻も早くその原因を解析し製造工程を改良する必要がある。歩留まりの良い製品は品質的にも良い。本論文では開発あるいは生産段階で使われる製造工程モニターリング技術および不良解析技術について最近の動向を概説する。また当社が最近開発したメモリーおよびロジックLSIの不良解析技術について紹介する。
- 日本信頼性学会の論文
- 1997-06-10