InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール(<特集>LSI品質の保証のための提案)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 0.13μm以降の半導体デバイスの故障解析・早期検証において裏面からの解析が必須となってきている.エミッション裏面解析ツールEmiScope^[○!R]及びIREMは近い将来の45nmプロセスまで対応可能であり,裏面からのフォトンを高効率で収集することができる.

• 日本信頼性学会の論文
• 2004-06-01

著者

• 中村 智紀

  クリーデンス・システム株式会社

• 九鬼 俊雄

  クリーデンス・システム株式会社

• 板橋 裕行

  クリーデンス・システム株式会社

関連論文

• InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール(LSI品質の保証のための提案)

スポンサーリンク