Silicon Micromachined Vacuum Gauge Using ZnO Thin Film : Piezoelectric Vibrators and Devices

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1990-12-28

著者

• Matsunaka Toshiyuki

  Research Laboratory Aloka Co. Ltd.

• KIHARA Taizo

  Research Laboratory, Aloka Co.,Ltd.

• Kihara Taizo

  Research Laboratory Aloka Co. Ltd.

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