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The Use of Selective Annealing for Growing Very Large Grains in Silicon on Insulator Films : A-6: SILICON CRYSTALS
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概要
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社団法人応用物理学会の論文
1983-02-28
著者
Bensahel D.
Cnet
COLINGE J.
CNET
DEMOULIN E.
CNET
AUVERT G.
CNET
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