Precision Reactive Sputter Etching and Its Applications : A-4: LSI-3 AND JUNCTION DEVICES

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1983-02-28

著者

• Gaur S.

  Ibm General Technology Division

• Srinivasan G.

  Ibm General Technology Division

• LECHATON J.

  IBM General Technology Division

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