Aluminum Etch and After-Corrosion Characteristics in a m=0 Helicon Wave Plasma Etcher

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1998-12-30

著者

• Ha J

  Hynix Semiconductor Inc. Cheongju-si Kor

• HA Jae

  Central Research Laboratory, LG Semicon

• YIM Myoung-ho

  Central Research Laboratory, LG Semicon

• KIM Jae-jeong

  Central Research Laboratory, LG Semicon

• Kim Jae-jeong

  Central Research Laboratory Lg Semicon

• Yim Myoung-ho

  Central Research Laboratory Lg Semicon

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