Balanced Inductive Plasma Sources

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1996-09-01

著者

• Vinogradov G

  Mc Electronics Co. Ltd Yamanashi Jpn

• VINOGRADOV Georgy

  MC Electronics Co. Ltd.

• YONEYAMA Shimao

  MC Electronics Co. Ltd.

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