100 nm Electron Beam Lithography for GaAs Fet Devices : Microfabrication and Physics

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1989-12-30

著者

• Wegener K.

  Telefunken Electronic Gmbh Heilbronn Frg

• WOLFSTADTER B.

  TELEFUNKEN electronic GmbH Heilbronn, FRG

• COLQUHOUN A.

  TELEFUNKEN electronic GmbH Heilbronn, FRG

• Colquhoun A.

  Telefunken Electronic Gmbh Heilbronn Frg

• Wolfstadter B.

  Telefunken Electronic Gmbh Heilbronn Frg

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