Removal of a Thin SiO_2 Layer by Low-Energy Hydrogen Ion Bombardment at Elevated Temperatures : Beam Induced Physics and Chemistry

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人応用物理学会の論文
• 1989-12-30

著者

• Miyake Kiyoshi

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

関連論文

• Superior Corrosion Resistance of Ion Beam Deposited Iron Film
• Removal of a Thin SiO_2 Layer by Low-Energy Hydrogen Ion Bombardment at Elevated Temperatures : Beam Induced Physics and Chemistry

スポンサーリンク