Thermal Properties and Etching Characteristics of Polymide Films
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1984-03-20
著者
-
Yada Toshio
Materials Engineering Lab. Mitsubishi Electric Corp.
-
Endo Atsushi
Materials Engineering Lab., Mitsubishi Electric Corp.
関連論文
- Thin-Film Formation by Spin Coating: Characteristics of a Positive Photoresist
- Thermal Properties and Etching Characteristics of Polymide Films