In-Situ Cleaning of SiO_2-Patterned GaAs Surface with Trisdimethylaminoarsine for Selective Regrowth
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-12-15
著者
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Cordier Yvon
Thomson-csf Laboratoire Central De Recherches Domaine De Corbeville
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ORTION Jean
Thomson-CSF, Laboratoire Central de Recherches, Domaine de Corbeville
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GARCIA Jean
Thomson-CSF, Laboratoire Central de Recherches, Domaine de Corbeville
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ADAM Didier
Thomson-CSF, Laboratoire Central de Recherches, Domaine de Corbeville
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GRATTEPAIN Claude
Thomson-CSF, Laboratoire Central de Recherches, Domaine de Corbeville
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Adam Didier
Thomson-csf Laboratoire Central De Recherches Domaine De Corbeville
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Garcia Jean
Thomson-csf Laboratoire Central De Recherches Domaine De Corbeville
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Ortion Jean
Thomson-csf Laboratoire Central De Recherches Domaine De Corbeville
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Grattepain Claude
Thomson-csf Laboratoire Central De Recherches Domaine De Corbeville
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