Generation Currernt Reduction at Local Oxidation of Silicon Isolation Edge by Low-Temperature Hydrogen Annealing

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1991-12-30

著者

• Motonami K

  Mitsubishi Electric Corp. Hyogo Jpn

• KIMURA Mikihiro

  LSI Laboratory, Mitsubishi Electric Corp.

• MOTONAMI Kaoru

  LSI Laboratory, Mitsubishi Electric Corp.

• ONODERA Yasuhiko

  LSI Laboratory, Mitsubishi Electric Corp.

• Kimura Mikihiro

  Lsi Laboratory Mitsubishi Electric Corp.

• Onodera Yasuhiko

  Lsi Laboratory Mitsubishi Electric Corp.

• Motonami Kaoru

  Lsi Laboratory Mitsubishi Electric Corp.

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