Crow Track Formed by Mechanical Force on Silicon Crystal Wafer
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1964-05-15
著者
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Okada Osamu
Shin-etsu Chemical Industry Co. Ltd. Electronic Materials Research Lab.
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MARUYAMA Shigeru
Shin-etsu Chemical Industry Co., Ltd. Electronic Materials Research Lab.
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Maruyama Shigeru
Shin-etsu Chemical Industry Co. Ltd. Electronic Materials Research Lab.