A Study of Thermally Oxidized SiO_2 Films by Transmission Electron Micrographs

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人応用物理学会の論文
• 1971-08-05

著者

• Yamazaki Shumpei

  Ykk Laboratory Yamazaki Industries Co. Ltd.

• KAGAWA Ichiro

  TDK Laboratory, TDK Electronics Co., Ltd.

• Kagawa Ichiro

  Tdk Laboratory Tdk Electronics Co. Ltd.

関連論文

• A Study of the Interface of the Si-SiO_2 System
• A Study of Thermally Oxidized SiO_2 Films by Transmission Electron Micrographs

スポンサーリンク