EUVリソグラフィ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
大道 博行
阪大レーザー研
-
Daido Hiroyuki
Advanced Photon Research Center Kansai Research Establishment Japan Atomic Energy Research Institute
-
Daido Hiroyuki
Advanced Photon Research Center And Photo-medical Research Center Japan Atomic Energy Agency
関連論文
- 22pTJ-6 クラスターターゲットを用いたレーザー駆動イオン加速(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 22pTJ-6 クラスターターゲットを用いたレーザー駆動イオン加速(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),ビーム物理領域)
- 22pTJ-5 レーザー駆動陽子線によるがん細胞DNA2本鎖切断のRBE測定(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 22pTJ-5 レーザー駆動陽子線によるがん細胞DNA2本鎖切断のRBE測定(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),ビーム物理領域)
- 22pTJ-12 レーザー対向入射型相対論的飛翔鏡によるXUV光発生(II)(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 22pTJ-12 レーザー対向入射型相対論的飛翔鏡によるXUV光発生(II)(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),ビーム物理領域)
- 22pTJ-14 レーザー加速電子ビームのコントロール及びパルス幅計測(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 22pTJ-14 レーザー加速電子ビームのコントロール及びパルス幅計測(22pTJ 領域2,ビーム物理領域合同(レーザープラズマ加速・高エネルギー密度プラズマ物理),ビーム物理領域)
- 30p-YG-8 間接照射爆縮方式におけるキャビティ : X線と駆動衝撃波の解析
- キャビティーX線の絶対スペクトル計測と駆動衝撃波観測
- 3.2 高強度・高コントラストレーザー光の発生とレーザー駆動イオン加速研究への応用(非線形光学結晶とそのプラズマ研究への応用)
- 2.1 光パラメトリックチャープパルス増幅システムにおける広スペクトル帯域光発生(非線形光学結晶とそのプラズマ研究への応用)
- 軟X線レーザーによるプラズマ画像計測
- 26pYP-3 クーロン爆縮によるレーザープラズマからの負イオン加速(プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・その他),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 超高強度レーザープラズマと高速点火核融合研究
- 23aB-4 激光XII号HIPERプロジェクト報告III : X線プローブ計測
- 26p-F-4 高速点火に向けた超高強度レーザープラズマ相互作用
- 5p-YM-3 短パルス高強度レーザーと高速点火核融合
- 5)軟X線レーザーによるプラズマ画像計測([情報入力研究会 情報ディスプレイ研究会]合同)
- 30p-XH-13 湾曲結晶分光器を用いた高強度レーザー生成プラズマのX線分光
- 軟X線CCDによるニッケル様銀X線レーザーのエネルギー計測
- 30p-YP-9 多段パルス励起電子衝突型XUVレーザーの物理とマルチパス増幅
- 100-ps復パルスレーザー照射による電子衝突型軟X線レーザーII -過渡増幅特性-
- 100-ps複パルスレーザー照射による電子衝突型軟X線レーザーI -時間分解スペクトル測定-
- 30p-E-2 X線レーザのプラズマ導波路増幅
- 15a-DA-6 平板並びにシリンダーターゲットを用いたゲルマニウム軟X線レーザーにおける高分解スペクトルの測定
- 15a-DA-5 シリンダー閉じこめプラズマを用いたゲルマニウム軟X線レーザー
- 1a-L-5 ゲルマニウム軟X線レーザーにおける高分解スペクトルの測定(原子・分子)
- 29p-S-7 ゲルマニウムプラズマにおける軟X線遷移の波長およびスペクトル幅の広がり
- 27p-T-6 電子衝突励起型Ge軟X線レーザー用薄膜ターゲットの最適設計
- 30p-R-2 ゲルマニウム軟X線レーザー光のコヒーレンス
- 30p-R-1 ネオン様ゲルマニウムにおける軟X線の増幅
- 30a-YR-1 高速点火における超短パルス高強度レーザープラズマ相互作用
- 1a-Q-1 慣性核融合用高効率炭酸ガスレーザー : ドライバーの開発研究I
- 第6回X線レーザー国際会議
- 23aWE-7 X線加熱プラズマのオパシティー計測
- 25pYJ-2 光電離プラズマからのX線放射/吸収スペクトル計測
- 軟X線レーザーによるプラズマ画像計測
- プリパルス手法におけるダブルターゲットの設計と最適化
- 28a-YQ-8 Short wavelength Ni-like x-ray laser studies at ILE
- 進行波励起高輝度ニッケル様Nd軟X線レーザー
- 5a-Q-9 進行波励起ニッケル様軟X線レーザー
- 31p-YA-8 ダブルターゲットを用いた波長8nmNi様Nd軟X線レーザーの高輝度化
- 波長8nmNi様Nd軟X線レーザーの高輝度化IV -ダブル湾曲ターゲットによる利得長の増加-
- 波長8nm Ni様Nd軟X線レーザーの高輝度化 III X線ミラーを用いた複光路増幅
- 波長8nm Ni様Nd軟X線レーザーの高輝度化II -レーザーパルスおよびターゲット構造依存性-
- 波長8nmNi様Nd軟X線レーザーの高輝度化 I. 均一線集光光学システム
- 大口径可変形ミラーを用いた波面制御によるX線レーザー実験の改善
- 27a-N-12 ガラスレーザー激光XII号を用いた軟X線レーザー実験II : 高利得長積軟X線レーザー
- 軟X線レーザーによるプラズマ画像計測
- 6a-E5-12 ガラスレーザー激光XII号を用いたバルマーα線XUVレーザーの短波長化(III) : 流体シミュレーションとの比較
- 6a-E5-11 ガラスレーザー激光XII号を用いたバルマーα線XUVレーザーの短波長化(II) : 利得の時間変化
- 6a-E5-10 ガラスレーザー激光XI1号を用いたバルマーα線XUVレーザーの短波長化(1) : 利得測定
- Proton Generation and Terahertz Radiation from A Thin-Foil Target with A High-Intensity Laser
- 高コントラスト・高ビーム品質・高強度レーザーの開発
- 3p-F-6 炭酸ガスレーザー「烈光VIII号」による爆縮核融合実験 III : 高利得ターゲット設計
- 3p-F-5 炭酸ガスレーザー「烈光VIII号」による爆縮核融合実験 II : キャノンボール爆縮実験
- 3p-F-4 炭酸ガスレーザー「烈光VIII号」による爆縮核融合実験 I : 横方向エネルギー輸送
- 11p-DH-9 高速電子駆動型圧縮ターゲットにおける予備加熱
- 11p-DH-2 キャノンボールターゲットにおける高速電子予備加熱の抑制
- 3a-NP-2 マルチパス法による炭酸ガスレーザーの高効率エネルギー取り出し
- 31p-YG-2 高速点火へのアプローチ
- 2a-W-12 X線レーザー実験におけるライン集光プラズマ中のTPD不安定性
- 30a-R-10 レーザー核融合高速点火方式基礎実験II : レーザー光圧ドリリング生成とその観測実験
- 高圧ガスパフレーザープラズマX線源の空間分解測定
- 高圧ガスパフターゲットを用いたレーザープラスマX線源 IV. keV X線放射特性
- 高圧ガスパフターゲットを用いたレーザープラスマX線源 III. ウォーターウィンドーX線放射特性
- 高圧ガスパフターゲットを用いたレーザープラズマX線源 II. 軟X線放射特性
- 高圧ガスパフターゲットを用いたレーザープラズマX線源 I, レーザー照射ガスパフ実験装置
- 3p-F-8 ガラスレーザー激光による爆縮核融合研究 VIII : データ処理
- A Novel Technique for Monitoring the Reproducibility of Laser Tape-Target Interactions Using an X-ray Pinhole Camera
- 5p-E-11 CO_2 レーザー烈光II号による核融合の研究 -レーザーシステム-
- 3p KF-6 烈光II号による核融合の研究 IV : ペレット圧縮
- 3p KF-3 烈光II号による核融合の研究 I : レーザーシステム
- 1p-Y-12 0.35μmレーザープラズマ中の吸収・輸送過程
- 1p-Y-11 Hot electron driven ablationにおけるablation圧力の均一性
- 100-J Level Green Laser Beam Homogenization to a Pump Petawatt Class Ti:sapphire Chirped-Pulse Amplification Laser System
- 10p-L-14 CO_2レーザーによる核融合の研究II : エネルギー輸送
- 10p-L-13 CO_2レーザーによる核融合の研究II : レーザープラズマ相互作用
- 10p-L-12 CO_2レーザー烈光による核融合の研究I : レーザーシステム
- 4a-R-4 CO_2レーザによる核融合の研究II : ターゲット照射実験
- 4a-R-3 CO_2レーザーによる核融合の研究I : 烈光2号
- 5a-P-10 核融合用CO_2レーザーシステム(烈光2号)
- 7p-D-7 CQ_2レーザー(烈光1号)による核融合プラズマの研究 II
- 7p-D-6 CO_2レーザー(烈光1号)による核融合プラズマの研究 I
- 5a-S-6 CO_2レーザー(烈光1号)の特性
- 1a GL-6 烈光II号 : V システム動作特性
- ArFエキシマレーザーによるポリイミドのアブレーション粒子の質量分析
- Ni様軟X線レーザー発振波長の精密測定
- Ni様軟X線レーザー発振波長の精密測定
- 31a-S-6 ニッケル様イオン軟X線レーザーの波長比例則 II
- 電子衝突励起型軟X線レーザーII -ニッケル様イオンからの共鳴線の時間分解計測-
- 電子衝突励起軟X線レーザー I ニッケル様イオン軟X線レーザーの発振実験
- 30a-YB-4 ニッケル様軟X線レーザーの波長比例則
- 30a-YB-3 高効率電子衝突励起型ニッケル様軟X線レーザーの短波長発振実験
- 22pB-10 超高強度レーザープラズマ相互作用 : X線計測
- 25aYF-6 高速点火基礎VI : エネルギー輸送(X線計測)
- 2p-K-6 ゲルマニウムX線レーザーの偏光測定
- 2p-K-8 短パルス照射ゲルマニウム軟X線レーザーの2次元ビーム特性
- 2p-K-5 多パルス照射による電子衝突励起X線レーザーの効率向上と短波長化