7. 高周波熱プラズマ発生装置の現状と将来 (<小特集>熱プラズマの産業応用における現状)

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概要

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• At the moment, various kinds of Radio-Frequency (RF) electricity or direct-current electricity application systems are used in the field of thermal plasma systems. RF electricity application systems include individual continuous output systems and pulse modulation systems for various frequency zones. In this paper we are going to discuss the applications for such systems. We will also propose new developments and examine future prospects for RF induction thermal plasma systems, these include a wider frequency zone, AM modulation and FM modulation.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-08-25

著者

• 原田 和彦

  電気興業

• 谷口 美樹

  電気興業株式会社

• 原田 和彦

  電気興業株式会社

• 原田 和彦

  電気興業(株)

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