3. 高周波熱プラズマの特徴を生かした用途開発 (<小特集>熱プラズマの産業応用における現状)

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概要

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• Recently, induction thermal plasma equipment has been used for super-high rate deposition of co-material, ChloroFluoroCarbons (CFCs) destruction, and as melting furnace. A long time stable plasma, the use of a cheap material, and evaporations to a substrate in a low surface temperatures are indispensable conditions for the deposition of material. The industrial, bureaucratic and university communities worked together and succeed in rendering CFCs harmless through the use of 100 % steam plasma. In the melting field, induction thermal plasmas with a long flame is becoming more effective for reducing the volume of low-level radioactive waste. In all three fields, making equipment and developing uses for induction thermal plasmas are priorities.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-08-25

著者

• 今野 茂生

  日本電子株式会社産業機器技術本部研究開発部プラズマグループ

• 小牧 久

  日本電子株式会社産業機器技術本部研究開発部プラズマグループ

• 菅原 吉則

  日本電子株式会社産業機器技術本部研究開発部プラズマグループ

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