2. 高周波熱プラズマの電源開発 (<小特集>熱プラズマの産業応用における現状)

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概要

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• This paper describes the development of the power supply for Radio-Frequency thermal plasmas. Inductively coupled RF thermal plasmas are often used for atomic emission spectroscopy etc. RF power source should be provided by a self-oscillation method, an amplifying method, a vacuum tube method and a semiconductor method, etc. Applied usage dictates the frequency, the electrical power, the control method, the stabilization method, the shield and the load matching circuit, among other things.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-08-25

著者

• 篠原 己拔

  日本高周波株式会社

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