5.短波長光源へのマイクロ放電の応用(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
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概要
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Light emission from UV to soft x-ray in microdischarges is reviewed. Soft x-ray is emitted from micropinches or hotspots ranging several hundred micrometers in size which are formed in Z-pinches and vacuum sparks. Microhollow cathode discharges are potential candidates for use in UV and VUV flat radiator panels. An intense microdischarge radiation source was developed by employing a microhollow structure. Ferroelectric electron emission is briefly explained.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-05-25
著者
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