29pA20P 表面バリア放電における表面処理効率の空間分布(プラズマ基礎・応用)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2002-11-20

著者

• 神藤 正士

  静大院電子科研

• シュテフェッカ ミロスラフ

  静大院電子科研

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