γ-Fe_2O_3 スパッタディスクの成膜とその特性

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文

著者

• 小林 淳二

  三菱電機

• 大内 博文

  三菱電機

• 梅崎 光政

  三菱電機

• 岡村 康弘

  三菱電機

• 大内 博文

  三菱電機材料研究所

• 梅崎 光政

  三菱電機材料研究所

• 二見 照治

  三菱電機計算機製作所

• 岡村 康弘

  三菱電機計算機製作所

• 黒川 博志

  三菱電機材料研究所

• 小林 淳二

  三菱電機材料研究所

• 黒川 博志

  三菱電機(株)材料研究所

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