100MHz5kビットリニアイメージセンサ(<論文小特集>リニアセンサ技術)
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概要
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データレート100MHzで動作可能な5000画素のCCDリニアイメージセンサを開発した.FDA型出力回路において, そのリセットパルスのハイレベルを常に最適値にコントロールするリセットパルスレベル適正化回路を開発することにより, 5nsのリセットパルス幅での安定した出力回路動作を実現した.これに加え, CCDの埋め込みチャンネルの形成プロセスに改良を行うことにより, データレイト100MHzと従来の3倍の読み取り, スピードを実現した.さらに, 埋め込みコンタクトの採用と, セルファラインのイオン注入工程の追加により, 7.7fFのCfd値を実現した.この低容量に加え, ゲイン1のプッシュプルタイプの出力バッファを開発することにより, 20.3μV/e^-と従来の3倍の電荷-電圧変換効率を実現することができた.これら高速, 高感度特性により, 400DPIの解像度でA3サイズの原稿を176枚/分のスピードで読みとることが理論上可能である.
- 1993-09-20
著者
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