マイクロマシン技術
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概要
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マイクロマシン技術について, その概要を述べ, 主要な要素技術の研究開発状況を紹介する.さらに, 各国が進めている研究開発プロジェクトについて, 通商産業省の大型プロジェクト「マイクロマシン技術の研究開発」等を中心に紹介する.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-07-20
マイクロマシン技術について, その概要を述べ, 主要な要素技術の研究開発状況を紹介する.さらに, 各国が進めている研究開発プロジェクトについて, 通商産業省の大型プロジェクト「マイクロマシン技術の研究開発」等を中心に紹介する.