半導体デバイスの極限技術と信頼性
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概要
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半導体デバイスはますます微細化, 高密度・大規模化が進んでおり, サブミクロンVLSIも夢でなくなってきた.このような加工限界に近い技術で製造されるVLSIの信頼性上の問題点, その対策法, 信頼性評価法および集積化と信頼性の推移予測について概観する.加工技術, 回路設計技術, 信頼性技術の進歩により, 高集積化デバイスでも現状の高い信頼性が確保できる見通しにある.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1984-02-20