超LSIウエハー表面欠陥検査装置

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概要

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• 本論文では, 超LSIにおいて同一チップ内に繰り返しパターンを有するウエハーの傷識別方式を提案し, その実用例としてウエハーの傷検査装置について述べる.当方式はS/Nを高めた境界抽出と, これを用いたマッチングによる傷識別アルゴリズムから成り, これらを高速回路化し, 実用的装置を開発した.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1982-01-20

著者

• 小西 敏夫

  ソニー株式会社生産技術本部

• 御園生 守男

  ソニー株式会社

• 加藤 俊夫

  ソニー株式会社

• 御園生 守男

  ソニー

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