薄膜集積回路の動向

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概要

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• 薄膜集積回路は受動素子としての面でのみ強いとされていたが, 最近マイクロ波集積回路の進展に伴い, 導波路などを中心に盛んに取入れられるようになった.本稿では薄膜集積回路の動作機能の基礎である薄膜の特性, とくに導電機構などにつき部品化, 集積化の基礎を解説し, これがマイクロ波集積回路や光集積回路などにどのように取入れられているかについて最近の動向を述べた.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1974-01-01

著者

• 武藤 時雄

  東京電機大学

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