ホログラフィック光学素子を用いたレーザ加工光学系
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
現在マスク転写加工によって行われているエキシマレーザ加工を高効率化するため, ホログラフィック光学素子を用いた多重結像転写光学系による加工法を開発した。ホログラフィック光学素子は, 3段階の最適化ステージからなる最適化法によりパターンを最適化し, 合成石英基板を直接エッチングする方法で製作した。このホログラフィック光学素子を用いて多重結像転写光学系による加工実験を行い, 100μmφの穴95個を, 通常のマスク転写加工の20倍の効率で加工することができた。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1997-06-10
著者
関連論文
- CS-6-2 レーザTV用超小型プレーナ導波路アレイ内部波長変換グリーンレーザ(CS-6.光通信とディスプレイを支える光デバイス技術,シンポジウムセッション)
- 6原色表示技術を用いた広色域PTVの開発
- 6原色表示技術を用いた広色域PTVの開発(画像技術・視覚・その他一般)
- プロジェクションテレビ用高効率集光光学系 : 光利用効率の向上による高輝度化
- プロジェクションテレビ用高効率集光光学系 : 光利用効率の向上による高輝度化(ディスプレイに関する技術全般:LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイに関するデバイス,部品,材料及び応用技術,発光・非発光型ディスプレイ合同研究会)
- プロジェクションテレビ用高効率集光光学系--光利用効率の向上による高輝度化 (情報ディスプレイ)
- 背面投射用の超薄型光学系の開発(背面投射型ディスプレイを支えるキーテクノロジー)
- 薄型リアプロジェクターの光学系
- レーザTV用揺動スクリーン構造の開発(画像技術,視覚・画質関連,その他一般)
- レーザTV用揺動スクリーン構造の開発
- レンズシフト機能搭載ノンテレセントリック方式プロジェクタ(映像情報機器および一般)
- レンズシフト機能搭載ノンテレセントリック方式プロジェクタ(映像情報機器及び一般)
- CS-6-2 レーザTV用超小型プレーナ導波路アレイ内部波長変換グリーンレーザ(CS-6.光通信とディスプレイを支える光デバイス技術,シンポジウムセッション)
- レーザTV用揺動スクリーン構造の開発(画像技術,視覚・画質関連,その他一般)
- マルチゾーンホモジナイザによる高効率微細レーザー加工
- マルチゾーンホモジナイザによる高効率微細加工
- ホログラフィック光学素子を用いたレーザ加工光学系
- ホログラフィック光学素子を用いたエキシマレーザ加工用多重結像光学系
- ホログラフィック光学素子を用いたレーザ加工光学系
- ホログラムによる高効率光加工技術
- エレクトロニクス分野におけるエキシマレーザー加工の応用
- エキシマレーザの高効率転写加工光学系
- 150. モーバイルコンピュータ用超薄型LCDバックライト((8)光関連デバイス・ディスプレイ)
- 揺動スクリーンを用いたレーザディスプレイのスペックル低減
- 2)ホログラフィック光学素子を用いたレーザ加工光学系
- 揺動スクリーンを用いたレーザディスプレイのスペックル低減
- 揺動スクリーンを用いたレーザディスプレイのスペックル低減
- ホログラフィック光学素子を用いたレーザ加工光学系
- 1-2 レーザTV用搖動スクリーンの構造(第1部門 情報ディスプレイ技術)
- 8-7 超広色域レーザー光源プロジェクションテレビの開発(第8部門 情報ディスプレイ3)
- 1-3 レーザTV用伝送光学系の開発(第1部門 情報ディスプレイ技術)
- 13-3 レンズシフト機能搭載ノンテレセントリック方式プロジェクタ(第13部門 情報ディスプレイ1)
- 8-5 レンズシフト対応DLP^プロジェクタ設計(第8部門 情報ディスプレイ3)
- 2-3 DLPプロジェクターにおける集光光学系設計(第2部門 情報ディスプレイ)
- 15-10 レーザーバックライト液晶テレビにおける光学系の開発(第15部門情報ディスプレイ)