9.3 Gate Planarized a-Si : H TFTs with the Silicon-based Flowable Oxide(1.Active-Matrix Technologies I, II)(20th IDRC report)

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 2000-11-10

著者

• Kanicki J.

  Dow Corning Corp.

• Kim J-H

  Univ.of Michigan

• Moyer E.S.

  Dow Corning Corp.

• Chung K.

  Univ.of Michigan

• Kanicki J.

  Univ.of Michigan/dow Corning Corp.

• Moyer E.s.

  Univ.of Michigan/dow Corning Corp.

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