低抵抗Ta/TaNゲート線TFT-LCDの開発 : 情報ディスプレイ

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1992-02-14

著者

• 谷口 泰之

  東芝 生産技術研究所

• 池田 光志

  東芝

• 樋口 勝敏

  東芝 生産技術研究所

• 池田 光志

  東芝 総合研究所

• 室岡 三千男

  東芝 総合研究所

関連論文

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• 4)低抵抗Ta/TaNゲート線TFT-LCDの開発(情報ディスプレイ研究会)
• 低抵抗Ta/TaNゲート線TFT-LCDの開発 : 情報ディスプレイ

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