Co-Crスパッタ膜の微細構造 : 偏析組織の透過電子顕微鏡観察

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文

著者

• 前田 安

  NTT電気通信研究所

• 朝日 雅好

  NTT電気通信研究所

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