スパッタディスクの媒体及び保護膜の機械的性質

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概要

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• 社団法人映像情報メディア学会の論文

著者

• 塚本 雄二

  日本電気 マイクロエレクトロニクス研究所

• 山口 弘高

  日本電気 マイクロエレクトロニクス研究所

• 柳沢 雅広

  日本電気 マイクロエレクトロニクス研究所

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