DMTC95報告 : セッション8 : FPDプロセス2METAL, ETCH, AND LITHOGRAPHY
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概要
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本セッションは、スパッタリング、Alアロイ電極、ALE、ドライエッチング、露光方式に関する7件の発表で構成。発表元は、米、独、カナダ、フィンランドそして日本と多彩。いずれの報告技術も、FPDの今後の大面積基板化、生産高スループット化を目的としている。
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-03-22
著者
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