1995年ディスプレイマニファクチャリング技術国際会議報告 : S7 FPDプロセスI : CVD, 熱処理, ウエット処理
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概要
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1995年ディスプレイマニファクチャリング技術国際会議(DMTC)にて発表された, CVD, 熱処理およびウエット処理に関するセッション7 : FPDプロセスIについて報告する。各々の件数は, CVDが2件, 熱処理3件, ウエット処理2件である。CVDは高スループットのプラズマCVDに関するもの, 熱処理はポリシリコン再結晶化のためのレーザおよびランプアニール法そしてウエット処理は処理液の塗布に関するものでいずれも大型ガラス基板に対応することを目的としたものである。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-03-22
著者
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