フラットパネル・ディスプレイ製造セッション : 1993 SID国際シンポジウム報告 : 情報ディスプレイ
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概要
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フラットパネル製造に関しては、「FPD Manufacturing Technology」セッションで口頭発表5件、「Display Manufacturing」ポスターセッションで3件の発表が行われた。発表の内容はガラス基板に関するもの2件、薄膜製造に関するもの2件、パターニングに関するもの2件、薄膜特性 測定および工程管理に関するもの2件であった。これらの発表の概要について述べる。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-07-09
著者
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