マイクロ波GaAs IC
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概要
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マイクロ波GaAs FET技術の成熟化に伴う必然的な技術の流れとして, GaAsモノリシックマイクロ波IC(MMIC)の研究開発が活発化し, 実用化が始まろうとしている.種々の特徴を有するGaAs MMICの技術動向を概観するため, その構成および製造プロセスについて基本的な技術を解説し, 最近の実例を紹介する.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1985-02-20
著者
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