DLCパッドによる吸着防止磁気ヘッドスライダに関する研究 : DLCパッドおよびABSデザインの最適化
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概要
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HDDの高記録密度化には、磁気ヘッドスライダの浮上量低減が必須であり、浮上量低減のため、磁気ディスクの表面粗さを低減する取組がなされてきた。それにともない、CSS方式を用いるHDDでは、磁気ディスクの表面粗さの低減による、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク間の吸着が問題となっている。本研究では、吸着を低減し信頼性の良いHDIの開発を行うことを目的に、磁気ヘッドスライダ上にDLCによるパッドを付加し、CSS時のヘッド・ディスク間のStiction・Frictionの測定結果をもとにDLCパッドおよびABSデザインの最適化を行った。結果、低バンプ高さのLZTディスクに最適にデザインしたDLCパッドを付加した磁気ヘッドスライダを用いることにより、15nmの浮上高さで、十分な耐吸着性とCSS信頼性を有するHDIの開発を行うことができた。
- 2003-01-17
著者
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