ディスプレー感光性フィルムへの展開 : LCD用ブラックマトリックス、フォトスペーサードライフィルムの開発(感光性フィルムの新規応用と今後の展望・一般)
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概要
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液晶ディスプレー(LCD)用ブラックマトリックス及びフォトスペーサー形成用の材料は、従来液状タイプが主流であったが、弊社にて新たに塗布・乾燥工程が不要な感光性ドライフィルムとして開発した。ブラックマトリックス用ドライフィルムでは、遮光性とパターニング性を両立させるために、露光時の硬化深度の把握・高感度化・ポストベーク時の形状安定化を検討し、基本性能を満たしつつ形状のコントロールを可能とした。またフォトスペーサー用ドライフィルムでは、組成検討、特に添加モノマーの検討により、形状コントロール性・良好な圧縮特性が得られるようになった。
- 2005-10-21
著者
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藤川 昇
旭化成エレクトロニクス株式会社研究開発センター電子材料研究所
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藤川 昇
旭化成エレクトロニクス(株)電子材料研究所
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栗田 英徹
旭化成エレクトロニクス株式会社研究開発センター電子材料研究所
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古賀 尋子
旭化成エレクトロニクス株式会社研究開発センター電子材料研究所
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金谷 隆一郎
旭化成エレクトロニクス株式会社研究開発センター電子材料研究所