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13a-D-6 ホロー陰極放電を用いたプラズマ源
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概要
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社団法人日本物理学会の論文
1974-09-20
著者
菅原 実
群馬大学・工
村田 憲司
群馬大学・工
関連論文
14a-DG-12 RF放電電極シースの時間的振舞いと伸長速度の測定
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